用于测量样品表面的二维轮廓。
（1）样品台直径：140mm；
（2）最大扫描范围：30mm；
（3）Stylus针尖半径：1.0um；
（4）Stylus针尖压力：0.05~10mg；
（5）最大样品厚度：20mm；
（6）最大垂直测量高度：400um。
