功能
用于研究外延材料组分和晶体结构、研究超晶格及多量子阱结构性质，是一种无损伤、无污染测试方法，具有高的应变分辨率。
主要技术指标
（1）扫描模式：Omega扫描、Omega-2Theta扫描、倒易空间扫描；
（2）测试步长；可小于0.2弧秒；
（3）束斑可调；
（4）具有三轴晶，可进行高精度扫描；
（5）具有批量自动测试功能。
用于研究外延材料组分和晶体结构、研究超晶格及多量子阱结构性质，是一种无损伤、无污染测试方法，具有高的应变分辨率。
（1）扫描模式：Omega扫描、Omega-2Theta扫描、倒易空间扫描；
（2）测试步长；可小于0.2弧秒；
（3）束斑可调；
（4）具有三轴晶，可进行高精度扫描；
（5）具有批量自动测试功能。