椭偏仪(GES5E)

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功能

  • 用于测量电介质、有机物、半导体等各类薄膜以及透明基底上的透明薄膜的膜厚及介电常数(n,k)、组分比等;对材料的各向异性、多层膜、膜层致密性、多孔材料、高分子薄膜等特殊结构的材料具有光学性能的分析能力,可以测量薄膜的各向异性、双折射、散射、Muller矩阵等。

主要技术指标

  • (1)波长范围:200nm~2100nm

  • (2)入射角:40°~90°;

  • (3)可测量温度范围:-70℃~300℃;

  • (4)样品移动方式:全自动校正;

  • (5)微光斑:0.1mm-1mm;

  • (6)膜厚测量范围:覆盖1nm-10µm。


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