功能
用于材料表面形貌观察，包括显微结构、尺寸及相互作用、相组成及相分布等；用于材料成分分析，包括元素定性分析、定量分析、线分析、面分析等。
主要技术指标
（1）二次电子分辨率：1.0nm（15kV），1.4nm（1kV，WD=1.5mm，减速模式），2.0nm（1kV，WD=1.5mm，普通模式）；
（2）放大倍数：低倍模式×20-×2000，高倍模式×30-×800000；
（3）加速电压：0.5-30kV（0.1kV/步，可变，普通模式）；
（4）样品台：X：0-50mm，Y：0-50mm，Z：1.5-30mm，T：-5-+70°，R：360°；
（5）样品最大尺寸：直径100mm。